1、干泵（包括螺桿真空泵、渦旋真空泵和爪形泵）。適用于無(wú)油清潔的真空工藝過(guò)程，例如半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝使用，這幾種泵都能直排大氣。

2、油封機(jī)械真空泵（包括滑閥泵、旋片真空泵和定片泵）。適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當(dāng)前，旋片式油封機(jī)械真空泵，作為直排大氣的前級(jí)泵，使用的量大面廣。

3、水環(huán)真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲(chǔ)藏、真空輸送、真空成型等工藝。

4、往復(fù)真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復(fù)真空泵與水環(huán)真空泵使用的工藝基本相同。但是，往復(fù)真空泵不能直接抽水蒸汽，需要抽水蒸汽時(shí)一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。

5、羅茨真空泵。真空冶煉等工藝中使用。（機(jī)械增壓泵）適用于真空燒結(jié)、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級(jí)泵使用，濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工藝中。

6、油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結(jié)、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它與機(jī)械增壓泵想類(lèi)似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵。

7、油擴(kuò)散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適合于抽取高真空使用，本身不能直排大氣，必須配備前級(jí)真空泵。

8、吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求清潔無(wú)油的真空系統(tǒng)中使用。

9、鈦泵（包括濺射離子泵、升華泵）。適用于真空鍍膜、大規(guī)模集成電路、表面物理和表面化學(xué)，熱核物理、等離子體物理和超導(dǎo)技術(shù)等工作中使用。

10、分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器、熱核反應(yīng)和宇航技術(shù)工作中使用。

11、水噴射泵。適合于真空導(dǎo)料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域中使用。

12、水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥和真空回潮等工藝中使用。

13、低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導(dǎo)技術(shù)和宇航技術(shù)等工作中使用。

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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī)  空壓機(jī)修訂日期：2017-06-09
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