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近年來，已開發(fā)出從大氣壓到高真空，僅用一臺泵就能實現(xiàn)的新型真空泵。但一般來說，為了獲得高真空、超高真空及極高真空，還是串聯(lián)多臺真空泵構成機組形式來完成抽氣任務的。因此，正確了解蹦的工作原理、主要性能、結構特點以及分類等，對于用戶選擇經濟適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按期工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體補集泵兩種類型。
1、氣體輸送泵。是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達到抽氣目的的真空泵。這種氣體輸送泵分為變容式和動量傳輸式兩大類。
變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。這種泵分為往復式和旋轉式兩種。
往復式真空泵利用泵腔內活塞的往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱它為活塞式真空泵。
旋轉式真空泵。利用泵腔內活塞的旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。屬于此類的泵種有很多：
油封式機械泵。是利用油類密封各運動部件的間隙，減少有害空間的一種旋轉式變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故稱氣鎮(zhèn)式真空。按其結構特點分為：旋片真空泵、定片泵、滑閥泵、余擺線泵以及多室旋片泵等。
無油真空泵。目前所謂的干式真空泵。一般通用的說法是：能在大氣壓到10﹣²Pa的壓力范圍內工作的真空泵，在泵的抽氣流道（如泵腔）中，不能使用任何油類和密封液體，排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣的泵，即稱為干式真空泵。按其工作原理分，也有容積式干式泵，如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵等；此外還有動量傳輸式干式泵，如渦輪干式泵、離心干式泵等。這種蹦的抽氣不再有油的污染了，是近期開發(fā)研制較多的泵種。
液環(huán)真空泵。帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當轉子旋轉時，把液體（水或油類）拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣，由于液環(huán)起到壓縮氣體的作用，故又稱它為液體活塞真空泵。
羅茨真空泵。泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉或多葉形的轉子，轉子間，轉子與泵殼內壁之間均保持有一定的間隙。它屬于無內壓縮式的真空泵。按用途又分為濕式羅茨泵、直排大氣式羅茨泵和機械增壓泵等類型。
2、動量傳輸式真空泵
動量傳輸式真空泵是利用高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給被抽氣體或氣體分子，使之吸入、壓縮、排氣的一種真空泵。這種泵可分為以下幾種形式。
分子真空泵。是利用高速旋轉的轉子表面與氣體分子相碰，把動量傳給氣體分子使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種形式。
牽引分子泵。高速旋轉的轉子表面與氣體分子相碰，把動量傳給氣體分子，將氣體分子拖到泵的出口排出。因此，它是一種動量傳輸泵。
渦輪分子泵。泵內裝有多級帶槽的圓盤或葉片的轉子，在定子圓盤（或定片）間旋轉，轉子的圓周線速度很高，這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
復合式分子泵。是由渦輪分子泵和牽引式分子泵經優(yōu)化組合，串聯(lián)起來工作的一種真空，可在分子流或過渡流狀態(tài)下工作。
噴射真空泵。是利用文丘里效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到泵出口的一種能量傳輸泵，適于在黏滯流和過渡流狀態(tài)下工作的真空泵。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2017-06-08
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