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在半導(dǎo)體制造工藝中，螺桿真空泵作為核心設(shè)備，其運行工況對生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性起著重要作用。因此，選擇合適的螺桿真空泵作為核心設(shè)備，能在半導(dǎo)體生產(chǎn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用。
適用范圍
螺桿真空泵的適用范圍較廣，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、化學(xué)化工、食品、醫(yī)藥、電子制造、半導(dǎo)體封裝等行業(yè)。
半導(dǎo)體行業(yè)的螺桿真空泵應(yīng)用最為廣泛，主要應(yīng)用于硅片制造，清洗與測試，前處理以及真空封裝等領(lǐng)域。
在食品制造行業(yè)中，螺桿真空泵可以應(yīng)用于肉類、水產(chǎn)品的加工和保存過程中的真空輸送、真空干燥和真空冷凍等。
在醫(yī)藥制造行業(yè)中，螺桿真空泵可以應(yīng)用于制藥過程中的干燥、包裝以及其他特殊工藝過程的真空泵。
在電子制造行業(yè)中，螺桿真空泵還可以用于電子芯片清洗與測試過程中的真空泵以及半導(dǎo)體封裝和后處理等過程中的真空泵。
結(jié)構(gòu)與工作原理
螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)，包括轉(zhuǎn)子、定子和螺桿轉(zhuǎn)子三部分，工作時由螺桿轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)旋轉(zhuǎn)形成真空室，將氣體吸入并壓縮。
定子部分由定子齒形、轉(zhuǎn)子組件等組成，其主要作用是將氣體吸入后，通過轉(zhuǎn)子組件的轉(zhuǎn)動將氣體壓縮為可吸入狀態(tài)，通過機(jī)械能或電氣信號輸出達(dá)到抽除真空的目的。
在半導(dǎo)體制造工藝中，由于工藝過程要求設(shè)備在極低真空條件下運行，所以需要對螺桿真空泵的運行工況進(jìn)行嚴(yán)格控制。根據(jù)不同工藝要求和對真空度的要求，螺桿真空泵可以滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)的不同工藝需求。
半導(dǎo)體制造行業(yè)對螺桿真空泵的運行工況有較高的要求，包括：極限壓力、溫度、流量、流速、振動、噪聲等。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2024-03-20
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